ИССЛЕДОВАНИЯ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ Mn4Si7

0 1

Аннотация

В данной работе мы изучили морфологию поверхности пленки силицида марганца с высоким содержанием марганца до и после нагревания. Изучен механизм образования пленки силицида марганца с высоким содержанием марганца. Полученную пленку кремния формировали на поверхности SiO2/Si или слюды методом магнетронного распыления. Изучены морфология, состав, электрические и оптические свойства объемных образцов и вакуумных покрытий Mn4Si7, полученных методом магнетронного распыления на структуру SiO2/Si. Показано, что покрытия из силицида марганца толщиной около 150 нм по свойствам аналогичны объемным Mn4Si7 и имеют однородную мелкозернистую полупроводниковую структуру, характеризующуюся термочувствительностью до 20-30 Мв на градус. Кроме того, в статье представлены электрофизические свойства пленок силицида марганца с высоким содержанием марганца, полученных авторами методом магнетронного распыления. Пленки с покрытием Mn4Si7 толщиной 146 нм имеют однородную структуру с мелкими зернами, что обусловлено достаточной плотностью покрытия. Поскольку нанокластеры Mn4Si7 являются полупроводниковыми материалами, можно предположить, что энергетические барьеры для носителей заряда будут существовать на границе раздела нанокластера с аморфной фазой, разделяющей эту фазу. Увеличение тепловой чувствительности с 0 мВ/К до 20 МВ/К и вплоть до 800 К объясняется исчезновением энергетических барьеров для носителей заряда на границе раздела нанокластер-аморфная фаза за счет упорядочения нанокластеров. Изменение с 20 мВ/К до 28 МВ/К при охлаждении объясняется появлением структурной релаксации в аморфной фазе.